檢索結果:共2筆資料 檢索策略: "Lithography".ekeyword (精準) and cadvisor.raw="李三良"
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傳統的全像術曝光系統因其反射鏡限制了其週期大小與曝光面積,為了克服此問題,本論文採用兩條光纖取代原有的反射鏡及擴束器,並利用光纖可彎曲的特性,改良全像干涉曝光系統的光路,使其曝光面積較不受干涉圖案週…
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本論文著重於全像光子晶體結構之分析、實現、光學特性與應用。在結構分析方面,使用全像術實現橢圓形光子晶體可以簡化製程步驟且相對於圓形光子晶體而言有著較寬的製程容忍度,進而提升製程良率並降低製作成本。此…